Nghiên cứu, thiết kế, tối ưu cấu trúc vi chấp hành nhiệt điện silicon-polymer

	About DSpace Software

Please use this identifier to cite or link to this item: http://data.uet.vnu.edu.vn:8080/xmlui/handle/123456789/783

Title:	Nghiên cứu, thiết kế, tối ưu cấu trúc vi chấp hành nhiệt điện silicon-polymer
Authors:	Nguyễn, Ngọc Việt
Keywords:	Electrothermal microactuator Silicon-polymer
Issue Date:	2013
URI:	http://data.uet.vnu.edu.vn:8080/xmlui/handle/123456789/783
Appears in Collections:	Khóa luận, Luận văn 2011-2015 (FEMA)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
nguyen ngoc viet.pdf		360.53 kB	Adobe PDF	View/Open