| Title: | Nghiên cứu chế tạo và khảo sát đặc trưng của vi thấu kính trên cơ sở màng micro-nano SU-8 ứng dụng trong hệ thống quang MEM/NEMS |
| Author: | Cao Việt, Anh |
| URI: | http://data.uet.vnu.edu.vn:8080/xmlui/handle/123456789/1068 |
| Date: | 2017 |
| Files | Size | Format | View |
|---|---|---|---|
| tom tat luan van(V2).pdf | 1.050Mb |
View/ |